UMBスパッタリング装置

計算条件

アンバランストマグネトロン 磁場のバランスを崩して、基板上へのイオンフラックスを増やすような 磁場配置

計算結果

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  磁束密度分布

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  電子密度分布

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  電位分布

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  イオンフラックス分布