ICP型CVD装置内のプラズマ解析

計算条件

ICP型CVD装置内のプラズマ解析 アセチレンガスのガス流れとプラズマを同時に解析しました。 PHMとDSMCMのカップリングによる解析例です。

計算結果

  • 電子密度

    電子密度

  • 電子温度

    電子温度

  • 電位分布

    電位分布

  • EEDF(電子エネルギー分布関数)

    EEDF(電子エネルギー分布関数)

  • パワー吸収分布

    パワー吸収分布

  • |Ｅθ|電界分布

    |Ｅθ|電界分布

  • C2H2(+)イオン密度

    C2H2(+)イオン密度

  • C(+)イオン密度

    C(+)イオン密度

  • CH2(+)イオン密度

    CH2(+)イオン密度

  • CH(+)イオン密度

    CH(+)イオン密度

  • C(+)イオン密度

    C(+)イオン密度

  • H2(+)イオン密度

    H2(+)イオン密度

  • H(+)イオン密度

    H(+)イオン密度

  • C2H2密度

    C2H2密度

  • 全圧

    全圧