輻射・熱伝導解析を伴う希薄気体解析

計算条件

輻射・熱伝導解析を伴う希薄気体解析 (1)HTRM3D （輻射・熱伝導解析）モジュールを用いてノズル壁面の温度分布を計算します。基板とるつぼの温度を与えて、熱伝導と輻射を考慮して計算します。 (2) 次に、RGS3D （希薄気体解析）モジュールを用いて、ノズル壁面への吸着分布と基板の膜厚分布を計算します。このとき、蒸発分子の吸着率は壁面温度の関数で与えます。 モデル形状、境界条件、メッシュモデルとモニタ要素を示します。

計算結果

  • 境界条件

    境界条件

  • メッシュモデル、モニター要素

    メッシュモデル、モニター要素

  • モニタ要素の温度時間変化

    モニタ要素の温度時間変化

  • ノズル壁面の温度分布

    ノズル壁面の温度分布

  • ノズル壁面の吸着フラックス分布

    ノズル壁面の吸着フラックス分布

  • 吸着率の温度依存性

    吸着率の温度依存性

  • 蒸発分子の圧力分布（ログスケール）

    蒸発分子の圧力分布（ログスケール）

  • 基板上の吸着フラックス分布∝膜厚分布

    基板上の吸着フラックス分布∝膜厚分布

  • 蒸発分子の密度分布（リニアスケール）

    蒸発分子の密度分布（リニアスケール）

  • 蒸発分子の温度分布

    蒸発分子の温度分布

(1)HTRM3D （輻射・熱伝導解析）モジュールを用いてノズル壁面の温度分布を計算します。基板とるつぼの温度を与えて、熱伝導と輻射を考慮して計算します。
(2) 次に、RGS3D （希薄気体解析）モジュールを用いて、ノズル壁面への吸着分布と基板の膜厚分布を計算します。このとき、蒸発分子の吸着率は壁面温度の関数で与えます。