• マグネトロン スパッタ 装置の解析
• CCP装置 内の プラズマ 解析
• ICP装置 内 プラズマ 解析
• マイクロプラズマの解析
• 真空蒸着装置 内の解析
• イオン注入 解析
• 各種 真空装置 / 真空ポンプ 内の 希薄気体解析
• 表面形状シミュレーション
• イオンビーム の解析
• イオンプレーティング 解析

新着情報

• 2010年5月31日(月) に PEGASUS 2010年5月31日版をリリースしました。 今回のバージョンアップの更新点は こちら です。
• 2010年5月18日 2次元DSMCモジュール(DSMCM)、 3次元希薄気体挙動解析ソフトウェア(RGS3D)に新衝突計算法オプションを追加しました。

• 2009年11月24日 2、3次元形状シミュレータ 解析例 を追加しました。

• 2009年11月16日 3次元表面形状シミュレータ FPSM3D を追加しました。

• 2009年 9月16日(水)〜18日(金) に東京ビックサイトにて開催された VACUUM2009 - 真空展 に出展しました。ブースの様子です。

• 2009年9月8日 3次元粒子モデルのプラズマ解析コード PIC-MCCM3D のページを追加しました。 DCマグネトロンスパッタ装置の3次元解析例 のページを追加しました。

• 2009年9月2日 計算例に プラズマディスプレイパネルの放電シミュレーションを新たに追加しました。

• 2009年8月31日 2次元表面形状シミュレータ FPSM2Dの 計算例を更新しました。

• 日本真空協会のSP部会賞 (スパッタリング現象の研究で国際的に有名な金原粲先生にちなんで、 金原賞とも呼ばれています) を頂きました。 2009年 7月24日(金) 第114回定例会 にて、弊社田中が受賞記念講演を行いました。
• 2009年 7月8日 から 10日、金沢国際ホテルにて開催された ISSP 2009 に て、ISSP 10th Anniversary Contribution Award を頂きました。 写真です。