イオンビームの軌道計算

計算条件

イオンビームの軌道計算
  • イオン加速電圧 : 20kV
  • 電流密度 : 20μA/cm2
  • ビーム径φ : 20mm
  • 電極間距離 : 40mm
  • 電極幅 : 20mm
  • 電極間電圧 : 1, 5, 10, 20kV
  • 基板～電極間距離 : 712mm
  • 真空度 : 9.6e-3 Pa　

計算結果

  • 1kV

    1kV

  • 5kV

    5kV

  • 10kV

    10kV

  • 20kV

    20kV