マグネトロンスパッタ装置内の静磁場解析

計算条件

• 磁石
  　残留磁化密度（Br） 1.0 T
  　保磁力（bHc） 8500 Oe

計算結果

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  磁力線

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  磁束密度分布

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  磁束密度（水平）：分布図

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  磁束密度（水平）：グラフ

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  磁束密度（垂直）：分布図

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  磁束密度（垂直）：グラフ