Ar/Cl2 混合ガス流れ

計算条件

Ar/Cl2 混合ガス流れ
  • 流入温度 300K
  • 圧力 100mTorr
  • 流入量 500sccm (Cl2:Ar = 30:70)
  • 基板温度 373K

計算結果

  • Ar密度分布

    Ar密度分布

  • Cl2密度分布

  • 速度分布

    速度分布

  • 温度分布

    温度分布