3次元 静磁場解析モジュール
3次元 静磁場解析モジュール (3D Magneto Static Simulation Module; MSSM3D)は、 永久磁石による静磁場を解析するモジュールです
計算手法の概要
MSSM3Dは、永久磁石による静磁場を3次元体系で解析するモジュー ルです。マグネトロンスパッタ装置内などの装置内の永久磁石による静 磁場を計算し、その結果をPIC-MCCM3D による3次元プラズマ解析に容易 に引き渡すことができます。 MSSM3Dは 株式会社ミューテック と共同開発しました。